濟(jì)南量子技術(shù)研究院大數(shù)據(jù)C棟實(shí)驗(yàn)室設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目（五）采購(gòu)需求公示

一、項(xiàng)目名稱(chēng)：大數(shù)據(jù)C棟實(shí)驗(yàn)室設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目（五）
二、采購(gòu)單位：濟(jì)南量子技術(shù)研究院
三、編制單位：濟(jì)南量子技術(shù)研究院
四、編制時(shí)間：2025年10月31日
五、需求調(diào)查方式：
六、需求調(diào)查對(duì)象：
七、項(xiàng)目概況：因研究院項(xiàng)目中的實(shí)驗(yàn)室MEB設(shè)備潔凈度需求，需要在系統(tǒng)前端安裝EFEM裝置，以實(shí)現(xiàn)超潔凈的環(huán)境下完成晶圓的裝載、定位、暫存和傳輸。經(jīng)市場(chǎng)調(diào)研，本次預(yù)算約為1200000元
八、總預(yù)算：120萬(wàn)元